Titanium halvlederkomponenter
Bærebakken i titanlegering af halvleder-, lanceret af China Super Tech Co., Ltd., er en næsten-net-formet kernekomponent, der er specielt designet til høj-litografiudstyr. Dens vægt er cirka 80 kg. Den er lavet af et titanlegeringssubstrat gennem en støbeproces i et enkelt-stykke og kan stabilt bære wafermoduler i et halvlederproduktionsmiljø med høj-renhed og høj{11}}vibration. Dette reducerer væsentligt materialespild og præcisionsafvigelser forårsaget af traditionelle forarbejdningsmetoder.
- Produkt introduktion
Produktegenskaber
1. Lavt materialetab
Ved at bruge lysbueplasmaaflejringsprocessen og bruge titantråd som råmateriale til lag-for-lagssmeltning og -støbning er materialeudnyttelsesgraden 70 % højere end traditionel fræsning, hvilket reducerer unødvendigt forbrug af ædle titaniummaterialer.
2. Høj strukturel stivhed
Efter formning er den indre struktur tæt og ensartet uden de almindelige porøsitetsfejl i traditionel støbning. Det er mindre sandsynligt, at det deformeres under udstyrets høje-bevægelsesforhold, og præcisionsudsvinget er mindre end 0,02 mm under lang-brug.
3. Lav restspænding
Efter formning gives der en eksklusiv temperatur-styret ældningsbehandling af komponenterne. Restspændingen inde i komponenterne er meget lavere end industristandardniveauet. Der vil ikke forekomme uventede deformationer under den efterfølgende præcisionsbehandling.
4. Høj renlighed og kompatibilitet
Overfladen af titanlegeringen kan behandles med passivering, som ikke er tilbøjelig til udfældning af metalpartikler og fuldt ud opfylder halvlederværkstedets høje krav til produktion af renhed.
Produktanvendelse
1. Waferholder til litografiudstyr
Som waferbærerbakken i litografisystemet holder den wafermodulet sikkert under høj-hastighedsbevægelsen og den præcise justeringsprocessen, hvilket forhindrer waferen i at flytte sig under eksponeringsprocessen og sikrer linjeætsningens nøjagtighed for hver wafer.
2. Vakuumbelægningsbærer
Placeret inde i halvledervakuumbelægningsmaskinen, placerer den de chips, der skal belægges. Titaniummaterialet har en ekstrem lav gasemissionshastighed i et vakuummiljø, som ikke forstyrrer højvakuumtilstanden inde i belægningskammeret, hvilket sikrer ensartetheden og tætheden af belægningslaget.
3. Chip test fikstur base
Som basiskomponenten i chipsorterings- og testudstyret kan den høje stabilitet, som dens egen vægt medfører, modvirke den lille vibration, der forårsages af udstyrets høje-hastighedssortering, hvilket gør justeringen af sonden og chipstifterne mere nøjagtige og reducerer testfejlfrekvensen.
Tilpasset service
China Super Tech Co., Ltd. kan levere en komplet-proces tilpasset service fra efterspørgselsmatching til produktlevering. Ved at stole på den modne titanlegeringsteknologi kan den hurtigt producere nær-net--formede barrer uden behov for gentagen formproduktion. Efterfølgende kræves der kun en lille mængde præcisionsbearbejdning for at opnå den nødvendige dimensionelle nøjagtighed i henhold til kundens specifikationer.
Vi kan justere formen og den indvendige forstærkningsstruktur af komponenterne i henhold til det faktiske installationsrum og -belastningsbærende krav til kundens udstyr, og vi kan også levere overfladebehandlingsløsninger, der passer til forskellige renhedsniveauer i henhold til kundens behov. Vi vil følge op på procesforløbet gennem hele processen for at sikre, at de tilpassede komponenter direkte kan passe ind i det eksisterende forsyningskædesystem af kundens halvlederudstyr uden behov for yderligere modifikation af udstyrsgrænsefladen.
Specifikation
|
Parameter |
Specifikation |
|
Produktnavn |
Titanium halvlederkomponenter |
|
Materiale |
Ren titan (kvalitet 1, klasse 2), titanlegering (kvalitet 5 / Ti-6Al-4V) |
|
Standard |
ASTM B348, ASTM B381, ASTM F67, ASTM F136 (brugerdefineret tilgængelig) |
|
Fremstillingsproces |
CNC-bearbejdning, præcisionsdrejning, fræsning, slibning |
|
Tilgængelige former |
Ringe, kamre, mål, flanger, plader, armaturer, brugerdefinerede dele |
|
Diameter |
5 mm – 1000 mm |
|
Længde |
Op til 3000 mm |
|
Tykkelse |
0,5 mm – 200 mm |
|
Tolerance |
±0,005 mm til ±0,02 mm (afhængigt af design) |
|
Overfladefinish |
Maskinbearbejdet, poleret, spejlfinish, sandblæst, syltet |
|
Overfladeruhed |
Ra 0,2–1,6 μm |
|
Renhed |
Op til 99,9% (kommercielt rent titan) |
|
Tæthed |
4,51 g/cm³ |
|
Driftstemperatur |
Op til 600 grader |
|
Korrosionsbestandighed |
Fremragende modstandsdygtighed over for syrer, alkalier og ultra-rene kemikalier |
|
Certificering |
ISO 9001, materialetestcertifikat (EN 10204 3.1 tilgængelig) |
|
OEM / ODM |
Tilgængelig |
FAQ
Hvorfor er titanium udbredt i halvlederudstyr i stedet for rustfrit stål eller aluminium?
+
-
Titanium tilbyder en fremragende kombination af korrosionsbestandighed, lav afgasning, højt styrke-til-vægtforhold og kompatibilitet med ultra-højvakuum-miljøer (UHV). Disse egenskaber gør den ideel til halvlederfremstillingsudstyr udsat for aggressive kemikalier, plasmabehandling og produktionsforhold med høj-renhed. Sammenlignet med rustfrit stål eller aluminium er titanium mindre tilbøjelige til at forurene wafere med metalioner eller partikler, hvilket hjælper med at forbedre produktionsudbyttet og processtabiliteten. Det bruges almindeligvis til vakuumkamre, procesarmaturer, gasdistributionskomponenter, dele til håndtering af wafers og plasmaudstyr.
Hvordan minimerer du partikelforurening under fremstilling?
+
-
Partikelkontamination er en af de største bekymringer for halvlederproducenter, fordi selv mikroskopiske partikler kan reducere waferudbyttet. For at minimere forurening skal titanium-halvlederkomponenter gennemgå præcisions-CNC-bearbejdning efterfulgt af passende overfladebehandling såsom polering, passivering eller elektropolering, når det er nødvendigt. Komponenter rengøres typisk ved hjælp af halvlederrensningsprocesser- og emballeres i rene miljøer for at forhindre kontaminering under transport. Kunder kan også anmode om specifik overfladeruhed (Ra), renhedsniveauer og tilpasset emballage i henhold til deres udstyrskrav.
Kan du fremstille brugerdefinerede titanium-halvlederkomponenter i henhold til tegninger?
+
-
Ja. De fleste halvleder titanium komponenter er specialfremstillede-, fordi hver udstyrsproducent har forskellige designspecifikationer. Kunder leverer normalt: 2D-tegninger eller 3D CAD-filer (STEP, IGES, PDF) Krav til materialekvalitet Overfladefinishspecifikationer Kritiske tolerancer Renhedskrav Inspektionskrav Baseret på disse specifikationer kan præcisions-CNC-bearbejdning, dimensionsinspektion, materialesporbarhed og tilpasset emballage alle leveres før forsendelse.
Hvilke kvalitetsdokumenter kan leveres med titanium-halvlederkomponenter?
+
-
Halvlederudstyrsproducenter kræver ofte komplet kvalitetsdokumentation for at sikre produktkonsistens og sporbarhed. Typiske dokumenter omfatter: Materialetestcertifikat (EN 10204 3.1) Rapport om kemisk sammensætning Mekanisk egenskabsrapport Dimensionsinspektionsrapport CMM-inspektionsrapport Overfladeruhedsrapport Første artikelinspektion (FAI) Overensstemmelsescertifikat (COC) Yderligere inspektionsrapporter kan også leveres i henhold til kundens specifikationer.
Hvordan kan titaniumkomponenter opretholde en lang levetid i barske miljøer for halvlederbehandling?
+
-
Halvlederbehandling involverer ofte højvakuum, plasmaeksponering, ætsende procesgasser og ultra-rene kemikalier. Dårligt materialevalg eller utilstrækkelig overfladebehandling kan resultere i korrosion, forurening, overdreven afgasning eller forkortet udstyrs levetid. Titaniumkomponenter af høj-kvalitet fremstilles ved hjælp af passende titaniumkvaliteter, præcisionsbearbejdning, kontrolleret overfladebehandling og streng kvalitetskontrol. Korrekt materialevalg sammen med rene fremstillingsprocesser hjælper med at forbedre korrosionsbestandigheden, reducere afgasning, minimere partikeldannelse og forlænge komponenternes levetid under krævende halvlederdriftsforhold.
Populære tags: titanium halvlederkomponenter, Kina titanium halvlederkomponenter producenter, leverandører, fabrik
